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【W系列—弧高臺階儀】
專利號：ZL201120280620.7
探測系統：
顯微探頭：實現快速弧高及臺階測量，可測弧高臺階范圍50～2000μm（一般弧高的高度不超過800μm），并支持器件幾何尺寸測量；
激光探頭：
實現快速臺階測量，可測臺階范圍2～500μm，并支持表面輪廓掃描。
系統配置：
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用途 |
1.弧高測量 2.臺階測量 3.器件尺寸測量 |
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型號 |
WB-70RX |
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載物臺 |
全自動載物臺
行程：105mm X 105mm
支持夾具定制 |
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聚焦 |
電動聚焦系統，解析率：1.0μm
顯微探頭：含影像自動聚焦及特有雙ROI長焦掃描功能
激光探頭：含影像輔助定位功能 |
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照明系統 |
環形、同軸照明可選 |
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軟件系統 |
圖像處理軟件系統，
帶虛擬弧高算法功能及SPC控制模塊 |
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檢查性能 |
顯微探頭：高度測量3σ≤3.0μm，精度±3um;
激光探頭：高度測量3σ≤0.2μm，精度±0.2um; |
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標配外觀尺寸 |
長：800mm 寬：750mm 高：1500mm |
