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系統配置：
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用途 |
1、微觀尺寸、套刻分析 2、點距測量 3、缺陷標注 |
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型號 |
TJC-850 |
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載物臺 |
高精度納米載物臺
行程：800um X800um |
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探測系統 |
高品質工業用顯微鏡，5X~150X物鏡可選 |
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成像系統 |
高品質CCD成像系統 |
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照明系統 |
透射、反射照明可選，可切換明、暗場觀察法 |
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夾具 |
支持夾具定制：
—用于劃片觀測的夾具，可實現夾緊、旋轉及
在0°、90°、180°、270°的鎖定功能
—用于裸片觀測的夾具，以NOTCH作為機械定位
基準，實現真空吸附功能 |
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反饋系統 |
線性反饋尺，解析率：1.0um/ 0.1um可選 |
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隔振系統 |
隔振平臺，有效隔離高頻振動 |
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軟件系統 |
全功能圖像處理圖像處理軟件系統及批處理測控語言，支持拼圖功能，提供各類數據庫接口，可將測量結果上傳至工藝主控終端 |
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檢查性能 |
微觀兩維尺寸檢測3σ≦10nm，精度±10um |
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外觀尺寸 |
長：1200mm 寬：800mm 高：1500mm |
軟件特點：
